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以堆疊式閘極介電層實現具有優異電流趨動能力與可靠度之高效能鰭式電晶體:Enhanced FinFET Performance by Stacked Gate Dielectric Featuring Higher Current Drive Capability and Superior Reliability
陳坤意 陳昱勳 陳慶育 卓政霖 謝靖恆 吳永俊 張廖貴術 巫勇賢
奈米通訊
23:2 2016.06[民105.06]
頁2-8
TCI引用統計