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探討低溫化學溶液沉積法成長氧化鋅磊晶薄膜之熱誘發孔洞現象:Investigation on the Formation of Thermally Induced Pores in Epitaxial ZnO Films Grown by Low Temperature Chemical Solution Deposition
陳厚光 余明陽 鄭芝婷 Chen, Hou-guang; Yu, Ming-yang; Zheng, Zhi-ting;
真空科技
28:4 2015.12[民104.12]
頁27-35
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