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陣列式電容耦合電漿輔助原子層沉積系統:
卓文浩 柯志忠 林建寶 魏健桓 陳誌濠 陳効義 劉埃森 彭韋智 許嘉良 范乃文 劉柏亨 余友軒 陳峰志 Cho, W. H.; Kei, C. C.; Lin, C. P.; Wei, C. H.; Chen, C. H.; Chen, H. Y.; Liu, A. S.; Peng, W. C.; Hsu, C. L.; Fan, N. W.; Liu, B. H.; Yu, Y. S.; Chen, F. Z.;
真空科技
28:3 2015.09[民104.09]
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