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題 名:
多孔式噴灑頭CVD腔體之流場可視化技術:Study of Showerhead CVD Reactor by Use of Flow Visualization Technology
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
375 2014.06[民103.06]
- 頁 次:
頁103-112
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題 名: