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Effect of DC Sputtering Power on Structure and Electrical Properties of Mo Thin Films:直流濺鍍功率對Mo薄膜成長優選方向之影響
許宏華 楊鈞程 梁仕昌 蔡林昌 蒲念文 Sheu, Hung-hua; Yang, Chun-chen; Liang, Shih-chang; Tsai, Lin-chang; Pu, Nen-wen;
中正嶺學報
43:2(A) 2014.11[民103.11]
頁61-68
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