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題 名:
電漿輔助原子層沉積釕與氮化鉭薄膜製程研究:Ru and TaNx Thin Films Grown by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
26:1 2013.03[民102.03]
- 頁 次:
頁21-26
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題 名:
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題 名:
高電容多孔性氧化釕氫離子感測器之研製:Fabrication of High Capacitance Porous RuO₂ Hydrogen Ion Sensor
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
46 2013.05[民102.05]
- 頁 次:
頁45-56
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
39:2=157 2013.06[民102.06]
- 頁 次:
頁27-34