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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
5 2013.03[民102.03]
- 頁 次:
頁12-23
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
24:特刊1 2013.12[民102.12]
- 頁 次:
頁95-110
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題 名:
多孔式噴灑頭對於CVD反應室內之流場影響研究:Effect of Showerhead on the Flow Field Distribution in CVD Reactor
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
363 2013.06[民102.06]
- 頁 次:
頁32-38
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題 名:
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題 名:
低壓化學氣相沉積應用技術:Low Pressure Chemical Vapor Deposition Technology
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
363 2013.06[民102.06]
- 頁 次:
頁72-81
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題 名: