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感應耦合電漿反應性離子蝕刻於石英玻璃加工的技術與應用:Micro Fabrication on Quartz Glass by Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching and Its Application
湯喻翔 黃茂榕 林郁欣 蕭銘華 Tang, Yu-hsiang; Huang, Mao-jung; Lin, Yu-hsin; Shiao, Ming-hua;
科儀新知
34:5=193 2013.04[民102.04]
頁51-63
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