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題 名:
原子層沉積系統設計與製作實務:Practical Design and Fabrication of Atomic Layer Deposition System
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
26:1 2013.03[民102.03]
- 頁 次:
頁6-12
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題 名:
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題 名:
ALD設備與產業展望:Industrial Applications and Development Prospect of Atomic Layer Deposition
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
35:2=196 2013.10[民102.10]
- 頁 次:
頁71-80
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題 名:
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題 名:
原子層沉積技術於電阻式記憶體元件之應用:Applications of Atomic Layer Deposition in Resistance Random Access Memory
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
363 2013.06[民102.06]
- 頁 次:
頁134-143
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題 名: