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發展化學機械研磨製程之二維原子有限元素模式模擬圓形刀鼻鑽石研磨粒之切削行為:Developing a Two-Dimensional Atomistic FE Model to Study the Cutting Behavior of a Round-Nose Diamond Particle in CMP Process
林有鎰 邱進東 羅仕鵬 Lin, Yeou-yih; Chiu, Jinn-tong; Lo, Ship-peng;
德霖學報
26 2013.04[民102.04]
頁49-58
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