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應用邏輯演算法在大尺寸光罩的選擇性線寬補償:Application of Logical Operations on Selective Line Width Bias of a Large Area Mask
高文星 沈文祥 張永全 Kao, Wen-hsing; Shen, Wen-hsiang; Chang, Yong-chuan;
科學與工程技術期刊
9:2 2013.09[民102.09]
頁47-55
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