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新型熱熔膠拋光墊的研製及其對單晶矽之拋光研究:A Study on the Manufacturing of New Hot Melt Adhesive Polishing Pad and Its Effects on Polishing a Mono-crystalline Silicon
蔡松霖 顏炳華
機械工業
348 2012.03[民101.03]
頁123-132
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