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應用實驗設計法探討電漿蝕刻Polyimide之研究:Study of Design of Experiment on Etching Polyimide Using Atmospheric Pressure Plasma Jet
陳泰宏 賴豊文 劉志宏
機械工業
351 2012.06[民101.06]
頁75-88
TCI引用統計