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用離子束濺鍍系統鍍製含不同氧成分之氧化鋅鋁薄膜:AZO Thin Film Fabricated by Ion Beam Sputter Deposition in Various Partial Pressures
徐進成 陳譽云 李俊逸 Hsu, Jin-cherng; Chen, Yun-yu; Lee, Chung-yi;
Fu Jen Studies. Science and Engineering
45 2012.05[民101.05]
頁191-202
TCI引用統計