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快速橢偏單層膜計算模組開發:The Software Module Development of Fast Data Calculation in Ellipsometry for Single Layer Film
謝余松 盧宥任 張益三 Hsieh, Yu-sung; Lu, Yu-jen; Chang, Yi-san;
科儀新知
33:6=188 2012.06[民101.06]
頁40-48
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