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全像光柵式奈米解析面內位移感測器:Holographic Displacement Sensor for the Sub-Nanometer Resolution Displacement Measurement
黃貫中 高孟群 許正治 Huang, Kuan-chung; Kao, Meng-chun; Hsu, Cheng-chih;
光學工程
120 2012.12[民101.12]
頁13-18
TCI引用統計