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Prediction of the Roughness of an Ultra-precision Machined Surface from Light Scattering by a Photo Diode Array:以陣列光電二極體量測反射光散射預測超精密加工表面之粗糙度
蔡習訓 馮慧平 Tsai, Hsi-hsun; Feng, Hui-ping;
技術學刊
27:1 2012.03[民101.03]
頁21-26
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