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以雷射輔助電漿增強化學氣相沉積系統沉積具矽奈米簇集之氮化矽薄膜及其光電元件應用:
李欣縈 蔡泰成 林子舜
電子月刊
18:3=200 2012.03[民101.03]
頁120-135
TCI引用統計