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1
應用於3D-TSV製程技術之CMP設備簡介:
鍾武雄
電子月刊
17:3=188 2011.03[民100.03]
頁136-143
TCI引用統計
2
三維積體電路技術:
張耀仁 陳冠能
17:9=194 2011.09[民100.09]
頁104-120