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利用電子束-物理氣相蒸鍍(EB-PVD)製程製備微/奈米結構組件之應用:Application of Micro/Nano Structured Components Fabrification Using EB-PVD Process
馬寧元 高于迦 卓廷彬 李新中
臺灣奈米會刊
26 2011.09[民100.09]
頁10-20
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