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Properties of N-doped P-ZnO Films Deposited Using Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition:電漿增強式原子層沉積法成長摻雜氮原子之P型氧化鋅薄膜特性分析
林渝璋 郭俐君 李欣縈 溫武義 Lin, Yu-chang; Kuo, Li-chun; Lee, Hsin-ying; Uen, Wu-yih;
真空科技
24:4 2011.12[民100.12]
頁50-56
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