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濺鍍沉積銅銦鎵先驅層暨大氣電漿補硒層之微結構特徵:Microstructural Characterization of Sputter Deposited Cu-In-Ga Precursor Layers and Atmospheric-plasma Selenium Layers
李建勳 楊國煇 劉志宏 陳錦山 Li, C. H.; Yang, K. H.; Liu, C. H.; Chen, G. S.;
真空科技
24:4 2011.12[民100.12]
頁42-49
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