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Optimization of the Geometry of Blockage Plates to Improve Film Uniformity in a DC Magnetron Sputtering Machine:DC直流濺鍍機檔板最佳化之研究
陳文立 周煥銘 陳長仁 鄭溪松 Chen, Wen-lih; Chou, Huann-ming; Chen, Chang-ren; Cheng, Shi-sung;
中國機械工程學刊
32:6 2011.12[民100.12]
頁575-585
TCI引用統計