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分級自動化量測CMOS-MEMS微光柵之光訊息:Optical information Measurement of a CMOS-MEMS Micro-grating at Minute Level Automation
蔡健忠 鍾光韋 巫政龍 廖家煌 劉吉倉 Tsai, Chien-chung; Zhong, Guang-wei; Wu, Cheng-lung; Liao, Chia-huang; Liu, Chi-tsang;
明新學報
37:1 2011.02[民100.02]
頁95-112
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