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利用溶膠旋轉塗佈法製備高介電常數鈦酸鎳閘極介電層於複晶矽薄膜電晶體之特性分析:Characterization of Polycrystalline Silicon Thin-Film Transistors with Nickel-Titanium Oxide Films by Sol-Gel Spin-Coating Method
吳仕傑 侯拓宏 鄧志剛 莊琇惠 趙天生 雷添福
電子月刊
16:12=185 2010.12[民99.12]
頁120-126
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