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新型電化學銅合金化薄膜導線之自我強化及自我對位圖案化分析:
呂育霖 陳松德 黃朝鴻 劉唐豪 陳錦山 Lu, Y. L.; Chen, S. T.; Huang, C. H.; Liu, T. H.; Chen, G. S.;
真空科技
23:4 2010.12[民99.12]
頁19-24
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