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針對具高熱負荷、高粒子源之潔淨室的創新回風系統--風機乾盤管冷卻機組應用:Application of an Innovative FDCU Local Exhaust System for Cleanroom with High Heat and Particle Loadings
張振光 胡石政 林迪 林成彥 陳彥志
潔淨科技
26 2010.07[民99.07]
頁5-15
TCI引用統計