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以雷射輔助電漿增強式化學氣相沈積法之矽薄膜太陽能電池特性研究:Investigation of Thin Film Silicon Solar Cells Using Laser Assisted Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method
陳彥志 林子舜 李欣縈 李清庭 Chen, Yen-chih; Lin, Tzu-shun; Lee, Hsin-ying; Lee, Ching-ting;
真空科技
23:1 2010.03[民99.03]
頁44-48
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