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Tool Portfolio Planning in the Back-End Process of Wafer Fabrication with Sequential Time Constraints:晶圓製造後段製程中連續型等候時間限制問題下之產能組合規劃
杜瑩美 陳欣男 Tu, Ying-mei; Chen, Hsin-nan;
工業工程學刊
26:1 2009.01[民98.01]
頁60-69
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