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應用於微晶矽薄膜製程中化學活性物種濃度即時回授控制研究:Real-Time Feedback Control of Radical Species in a VHF Plasma for μ-Si Thin Film Deposition
黃振榮 張家豪
機械工業
314 2009.05[民98.05]
頁81-87
TCI引用統計