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Dynamic Analysis on Particle Concentration Induced by Opening the Door of a Front Opening Unified Pod (FOUP) that Loaded with 25 Pieces of 300 mm Wafer Manufacturing Processes:
Hu, Shih-cheng; Ku, Chen-wei; Shih, Yang-cheng; Hsu, Kwen;
Aerosol and Air Quality Research
9:1 2009.03[民98.03]
頁139-148
TCI引用統計