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PEALD系統研製:The Development of PEALD
蕭健男 柯志忠 劉伯亨 游智傑 李昭德 劉達人 陳峰志 Hsiao, C. N.; Kei, C. C.; Liu, B. H.; Yu, C. C.; Lee, C. T.; Liu, D. R.; Chen, F. Z.;
真空科技
22:4 2009.12[民98.12]
頁39-44
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