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以SEM及AFM進行多孔矽材料在拋光蝕刻及電解蝕刻之表面微觀研究:The Analysis of Polishing and Anodization Etching on the Porous Silicon Thin Films by Scanning Electron Microscope and Atomic Force Microscope
林嘉洤 陳奕鴻 Lin, J. C.; Chen, Y. H.;
華岡工程學報
23 2009.01[民98.01]
頁41-47
TCI引用統計