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利用不同氫氣稀釋比例來提高奈米矽晶薄膜的結晶性:
蔡承翰 朱維屏 莊賦祥 林建憲 鄭錦隆 蔡裕勝
真空科技
22:2 2009.06[民98.06]
頁28-32
TCI引用統計