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應用於ZnO薄膜沉積系統中之雙通道氣體擴散裝置模擬分析:Gas Flow Simulation of Dual Flow Showerhead in a Large Area Chemical Vapor Deposition System
張家豪 黃智勇 江銘通 張永光
機械工業
314 2009.05[民98.05]
頁96-103
TCI引用統計