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基於支持向量迴歸及支持向量資料描述之半導體CVD製程虛擬量測研究:A Study on CVD Virtual Metrology System Based on Support Vector Regression and Support Vector Data Description
劉益宏 林昌誠 周子勤
機械工業
303 2008.06[民97.06]
頁50-57
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