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熱離化輔助直流磁控濺鍍氧化銦錫薄膜的光學與電氣特性之研究:Optical and Electrical Properties of Thermionic-Enhanced Deposition of Indium Tin Oxide Films by Using DC Magnetron Sputtering
藍銀鋒 王文生 陳佩均 何主亮 Lan, Y. F.; Wang, W. S.; Chen, P. C.; He, J. L.;
真空科技
21:1/2 2008.06[民97.06]
頁6-15
TCI引用統計