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Investigation of Material Removal Mechanisms Involved in ICP Etching of InGaN/GaN:感應耦合電漿蝕刻InGaN/GaN材料移除機制研究
趙崇禮 周文成 石正宜 馬廣仁 陳大同 Chao, Choung-lii; Chou, Wen-chen; Shih, Cheng-yi; Ma, Kung-jeng; Chen, Ta-tung;
中正嶺學報
34:2(A) 民95.05
頁185-190
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