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Effects of Critical Width and Draft Angle on Nanoimprint Process Using Molecular Dynamics:以分子動力學研究奈米壓印製程之臨界寬度與拔模角效應
許光城 吳政達 方得華 Hsu, Quang-cherng; Wu, Chen-da; Fang, Te-hua;
中國機械工程學刊
27:6 民95.12
頁851-858
TCI引用統計