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65奈米光罩製作:
施錫龍 蔡來福 文翔昇 戴寶通 丁永強 許丕明 李明峻
奈米通訊
12:1 2005.02[民94.02]
頁33-37
TCI引用統計
2
以電子顯微鏡為基礎之電子束曝光機的改裝與應用:Scanning-Electron-Microscope-Based E-Beam Writer and Its Applications in the Fabrication of Nano-Electronic Devices
陳啟東 吳憲昌 Chen, Chii-dong; Wu, Cen-shawn;
科儀新知
26:6=146 2005.06[民94.06]
頁63-72