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半導體製程廢氣管路中微粒沉降之實廠研究:Field Study on Particle Deposition in the Exhaust Pipeline of Semiconductor Manufacturing Process
林智賢 蔡春進 林宏 張振平 Lin, Jyh-shyan; Tsai, Chuen-jinn; Lin, Hung; Chang, Cheng-ping;
勞工安全衛生研究季刊
13:4 民94.12
頁257-264
TCI引用統計