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結合微陣列式熱致動器之新型微光學元件抬升結構的探討:Investigation of a Novel Elevating Structure Combined with MATA for Micro Optical Devices
蔡健忠 范振豪 陳仁杰 林培豪 Tsai, Chien-chung; Fan, Zhen-hao; Chen, Jen-chieh; Lin, Pei-hao;
明新學報
31 民94.10
頁101-116
TCI引用統計