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On the Hardness and Microstructure of AIN Thin Films Prepared by Long-Distance Reactive Magnetron Sputtering:干涉磁控濺鍍系統成長氮化鋁薄膜硬度與微結構之研究
李縫治 趙健祥 黃興祿 朱安國 Lee, Feng-zhi; Chao, Chien-hsiang; Huang, Hsing-lu; Chu, Ann-kuo;
中國機械工程學刊
26:6 民94.12
頁773-778
TCI引用統計