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Applying Artificial Neural Network to Semiconductor Planarization Process Forecasting and Monitoring Functions:類神經網路於半導體平坦化製程預測監控功能之研究
田效文 謝家祥 鍾宜展 蔡志弘 王志宏 Tien, Shiaw-wen; Hsieh, Chia-hsiang; Chung, Yi-chan; Tsai, Chih-hung; Wang, Chih-hong;
品質學報
12:4 民94.12
頁273-284
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