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以氮化鋁薄膜製作薄膜體聲波共振器之研究:Synthesize Highly-textured AIN Thin Films and Study on Its Application to Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonators
周正賢 林永振 戴念華 黃金花 林諭男 Chou, C. H.; Lin, Y. C.; Tai, N. H.; Huang, J. H.; Lin, I. N.;
材料科學與工程
37:2 民94.06
頁105-109
TCI引用統計