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題 名:
奈米級電磁式直接驅動定位平臺設計與驗證:Design and Verification of a Linear Direct Drive Nano-Stage
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
265 2005.04[民94.04]
- 頁 次:
頁204-217
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題 名: