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以電子顯微鏡為基礎之電子束曝光機的改裝與應用:Scanning-Electron-Microscope-Based E-Beam Writer and Its Applications in the Fabrication of Nano-Electronic Devices
陳啟東 吳憲昌 Chen, Chii-dong; Wu, Cen-shawn;
科儀新知
26:6=146 2005.06[民94.06]
頁63-72
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