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結合氫氣乾式蝕刻及氣-固-液相成長機制製作矽的奈米線及鍺的奈米結構:
楊閔智 謝健 柯宗憲
奈米通訊
11:3 2004.08[民93.08]
頁6-11
TCI引用統計