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導電式原子力顯微鏡在IC製程及故障分析之應用:Applications of Conductive Atomic Force Microscopy on IC Fabrication and Leaky Contact Analysis
莊榮祥 李仲 吳兆奇 黎聰德 姚東騰 Chuang, Jung-hsiang; Lee, Jon C.; Wu, Chao-chi; Li, Tsung-te; Yao, Tung-teng;
科儀新知
26:3=143 2004.12[民93.12]
頁6-12
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