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Fabrication of Free-space MOEM Component by CMOS Process:
Cheng,Ying-chou; Lee,Chi-yuan; Dai,Ching-liang; Chen,Wen-jong; Chang,Pei-zen; Chen,Ping-hei;
淡江理工學刊
7:2 2004.06[民93.06]
頁73-76
TCI引用統計